Unsere Kernkompetenzen liegen bei der Durchführung von Forschungs- und Entwicklungsprojekten auf den Gebieten der Analytik und Qualitätssicherung (QS) mit den Schwerpunkten: Neue Materialien, elektronische Bauelemente, dünne und ultradünne Schichten, Oberflächen, sowie Mikro- und Nanostrukturen.
Raster-Sonden-Mikroskopie (AFM)
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Raster-Elektronen-Mikroskopie (SEM) & STEM
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3-Omega-Methodik
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Infrarotkamera
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Laser-Scanning-Mikroskopie
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Waferprober
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Van-der-Pauw-Methodik
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Sie finden alle Publikationen des IQMA in unserer Publikationsdatenbank.
Nachfolgend finden Sie eine Auswahl an relevanten Zeitschriftenartikeln, Buchbeiträgen und Patenten der Arbeitsgruppe.
Metzke, C., Kühnel, F., Weber, J., & Benstetter, G. (2021). Scanning Thermal Microscopy of Ultrathin Films: Numerical Studies Regarding Cantilever Displacement, Thermal Contact Areas, Heat Fluxes, and Heat Distribution. Nanomaterials, 11(2), 491.
https://doi.org/10.3390/nano11020491
Ni, W., Niu, C., Zhang, Y., Liu, L., Cui, Y., Fan, H., ... & Lei, G. (2021). Modeling W fuzz growth over polycrystalline W due to He ion irradiations at an elevated temperature. Journal of Nuclear Materials, 550, 152917.
https://doi.org/10.1016/j.jnucmat.2021.152917
Wen, C., Banshchikov, A. G., Illarionov, Y. Y., Frammelsberger, W., Knobloch, T., Hui, F., ... & Lanza, M. (2020). Dielectric Properties of Ultrathin CaF2 Ionic Crystals. Advanced Materials, 32(34), 2002525.
https://doi.org/10.1002/adma.202002525
Fan, H., Zhang, Y., Liu, D., Niu, C., Liu, L., Ni, W., ... & Lei, G. (2020). Tensile stress-driven cracking of W fuzz over W crystal under fusion-relevant He ion irradiations. Nuclear Fusion, 60(4), 046011.
https://doi.org/10.1088/1741-4326/ab71bb
Metzke, C., Frammelsberger, W., Weber, J., Kühnel, F., Zhu, K., Lanza, M., & Benstetter, G. (2020). On the limits of scanning thermal microscopy of ultrathin films. Materials, 13(3), 518.
https://doi.org/10.3390/ma13030518
Wen, C., Jing, X., Hitzel, F. F., Pan, C., Benstetter, G., & Lanza, M. (2019). In situ observation of current generation in ZnO nanowire based nanogenerators using a CAFM integrated into an SEM. ACS applied materials & interfaces, 11(17), 15183-15188.
https://doi.org/10.1021/acsami.9b00447
Bi, Z., Liu, D., Zhang, Y., Liu, L., Xia, Y., Hong, Y., ... & Yan, L. (2019). The evolution of He nanobubbles in tungsten under fusion-relevant He ion irradiation conditions. Nuclear Fusion, 59(8), 086025.
https://doi.org/10.1088/1741-4326/ab2472
Jiang, L., Weber, J., Puglisi, F. M., Pavan, P., Larcher, L., Frammelsberger, W., ... & Lanza, M. (2019). Understanding current instabilities in conductive atomic force microscopy. Materials, 12(3), 459.
https://doi.org/10.3390/ma12030459
Chen, S., Jiang, L., Buckwell, M., Jing, X., Ji, Y., Grustan‐Gutierrez, E., ... & Lanza, M. (2018). On the limits of scalpel AFM for the 3D electrical characterization of nanomaterials. Advanced Functional Materials, 28(52), 1802266.
https://doi.org/10.1002/adfm.201802266
Yang, C., Souchay, D., Kneiß, M., Bogner, M., Wei, H. M., Lorenz, M., ... & Grundmann, M. (2017). Transparent flexible thermoelectric material based on non-toxic earth-abundant p-type copper iodide thin film. Nature communications, 8(1), 1-7.
https://doi.org/10.1038/ncomms16076
Jing, X., Panholzer, E., Song, X., Grustan-Gutierrez, E., Hui, F., Shi, Y., ... & Lanza, M. (2016). Fabrication of scalable and ultra low power photodetectors with high light/dark current ratios using polycrystalline monolayer MoS2 sheets. Nano Energy, 30, 494-502.
https://doi.org/10.1016/j.nanoen.2016.10.032
Fan, H., You, Y., Ni, W., Yang, Q., Liu, L., Benstetter, G., ... & Liu, C. (2016). Surface degeneration of W crystal irradiated with low-energy hydrogen ions. Scientific reports, 6(1), 1-9.
https://doi.org/10.1038/srep23738
Liu, L., Liu, D., Hong, Y., Fan, H., Ni, W., Yang, Q., ... & Li, S. (2016). High-flux He+ irradiation effects on surface damages of tungsten under ITER relevant conditions. Journal of Nuclear Materials, 471, 1-7.
https://doi.org/10.1016/j.jnucmat.2016.01.001
Hamann, L., Benstetter, G., Hofer, A., Mattheis, J., Haas, M., & Zapf-Gottwick, R. (2015). Use of Coated-Metal Particles in Rear Busbar Pastes to Reduce Silver Consumption. IEEE Journal of Photovoltaics, 5(2), 534-537.
https://doi.org/10.1109/JPHOTOV.2014.2388080
Yang, Q., You, Y. W., Liu, L., Fan, H., Ni, W., Liu, D., ... & Wang, Y. (2015). Nanostructured fuzz growth on tungsten under low-energy and high-flux He irradiation. Scientific reports, 5(1), 1-9.
https://doi.org/10.1038/srep10959
Berthold, T., Benstetter, G., Frammelsberger, W., Rodríguez, R., & Nafría, M. (2015). Nanoscale characterization of CH3-terminated Self-Assembled Monolayer on copper by advanced scanning probe microscopy techniques. Applied Surface Science, 356, 921-926.
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2015.08.182
Yang, Q., Fan, H., Ni, W., Liu, L., Berthold, T., Benstetter, G., ... & Wang, Y. (2015). Observation of interstitial loops in He+ irradiated W by conductive atomic force microscopy. Acta Materialia, 92, 178-188.
https://doi.org/10.1016/j.actamat.2015.04.004
Iglesias, V., Lanza, M., Zhang, K., Bayerl, A., Porti, M., Nafría, M., ... & Bersuker, G. (2011). Degradation of polycrystalline HfO2-based gate dielectrics under nanoscale electrical stress. Applied physics letters, 99(10), 103510.
https://doi.org/10.1063/1.3637633
Benstetter, G., Biberger, R., & Liu, D. (2009). A review of advanced scanning probe microscope analysis of functional films and semiconductor devices. Thin Solid Films, 517(17), 5100-5105.
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2009.03.176
G. Benstetter, P. Breitschopf, B. Knoll - US Patent 7,788,732, 2010
Frammelsberger, W., Benstetter, G., Kiely, J., & Stamp, R. (2007). C-AFM-based thickness determination of thin and ultra-thin SiO2 films by use of different conductive-coated probe tips. Applied Surface Science, 253(7), 3615-3626.
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2006.07.070
Frammelsberger, W., Benstetter, G., Kiely, J., & Stamp, R. (2006). Thickness determination of thin and ultra-thin SiO2 films by C-AFM IV-spectroscopy. Applied Surface Science, 252(6), 2375-2388.
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2005.04.010
Benstetter, G., Hofer, A., Liu, D. & Frammelsberger, W. (2017). Fundamentals of CAFM Operation Modes [E-Book]. In M. L. Lanza (Hrsg.), Conductive Atomic Force Microscopy - Applications in Nanomaterials (S. 45–71). Wiley-VCH Verlag.
https://doi.org/10.1002/9783527699773
Wir bieten regelmäßig spannende Themen aus den Bereichen der elektrischen und thermischen Material-Charakterisierung, sowie zu Analytik- und Zuverlässigkeitsthemen moderner Elektronikkomponenten an. Interessierte Studierende aus den Bereichen Angewandte Informatik, Mechatronik, Elektrotechnik, Medientechnik und technischer Physik können diese in Form von Bachelorarbeiten und Masterarbeiten ggf. auch mit Industriebeteiligung, Master of Applied Resarch Themen und SHK Stellen bearbeiten. Detaillierte Informationen entnehmen Sie bitte dem nachfolgenden PDF.
Am IQMA arbeiten die folgenden Professoren und (wissenschaftlichen) Mitarbeiter. Für Anfragen nehmen Sie bitte Kontakt zu Prof. Benstetter auf.
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