Prof. Dr.-Ing. Günther Benstetter
- Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik
- Elektronische Bauelemente
- Materialwissenschaften und angewandte Festkörperphysik
- Qualitätssicherung und Zuverlässigkeitsanalytik
Studiendekan
Studiendekan
Sprechzeiten
nach Vereinbarung
Projekte
mehrere Projekte in den Bereichen Oberflächenanalytik, thermische und elektrische Charakterisierung neuer Materialien, >20 abgeschlossene Projekte
Labore
Elektronische Bauelemente, Raster-Sonden-Mikroskopie (RSM), Raster-Elektronen-Mikroskopie (REM) und Halbleiteranalytik
Kernkompetenzen
Material- und Oberflächenanalytik
* Raster-Elektronen-Mikroskopie & begleitende Methoden
Röntgenanalytik (EDX, WDX), Gefüge- und Strukturanalytik (EBSD), Mikro-Röntgenfluoreszenz (μ-XRF) Raster-Transmissions-Elektonenmikroskopie (STEM), korrelative Mikroskopie
* Raster-Sonden-Mikroskopie & Laser-Scanning Mikroskopie
kombinierte mechanische, magnetische, elektrische, thermische und chemische Mikro-Charakterisierung
* Thermische Charakterisierung
Qualitätssicherung und Zuverlässigkeitsanalytik
Fehler- und Ausfallanalytik, Wafer-Level-Zuverlässigkeitsanalytik, HL-Lebensdauer-Untersuchungen
Vita
Akademischer Werdegang
Berufung: Professor, Technische Hochschule Deggendorf, 1998 Promotion: Dr.-Ing., TU München, 1994 Studienabschluss: Dipl.-Ing. Elektrotechnik, 1989
Beruflicher Werdegang
1989-1994: Wissenschaftlicher Assistent, TU München 1994-1998: Siemens HL, IBM/Siemens/Toshiba DRAM – Projekt in Burlington, Vermont, USA seit 1998: Professor an der Technischen Hochschule Deggendorf, Fakultät Elektrotechnik und Medientechnik, Leiter des Insituts für für Qualitäts- und Materialanalysen (IQMA)
Sonstiges
Associate Editor von Microelectronic Engineering (Elsevier)