Lehre:

Ziele: Vertiefte Kenntnisse im Bereich der hochauflösenden Analytik. Erlernen der Funktionsweise und des praktischen Umgangs mit höchstauflösenden Raster-Elektronen-Mikroskopen (REM) sowie weiterführender Analysemethoden. Befähigung zur eigenständigen Durchführung von Probenpräparationen und anschließenden REM-Analysen/Oberflächenanalysen. Verständnis der Funktionsweise von Testmethoden und Verfahren zur Qualitätssicherung von integrierten Schaltungen. Befähigung zur eigenständigen Planung, Durchführung und Auswertung von IC-Zuverlässigkeitsuntersuchungen.

Praktikumsinhalte, Gebiet Raster-Elektronen-Mikroskopie, Analytik:

• Probenpräparation
• Lichtmikroskopie
• Rasterelektronenmikroskopie und weiterführende Analytik-Praktikumsinhalte, Gebiet elektrische Verfahren der Halbleiteranalytik:
• Konstant-Spannungs- und -Stromtest
• Ermittlung von Aktivierungsenergien und Beschleunigungsfaktoren
• Hot-Carrier-Tests
• Bias/Temperatur Instabilitäten
• Elektromigrations-Tests
• Dünn-Oxid-Zuverlässigkeits-Tests / Lebensdauerbestimmungen

Durchführung von Bachelor- und Masterarbeiten sowie Forschungsprojekten auf den Gebieten:

• Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen
• Untersuchungen von Schicht und Dünnschichtsystemen
• Halbleiter-Zuverlässigkeits-Analytik
• Methodenentwicklung

Das Labor richtet sich primär an Studierende der Technischen Hochschule Deggendorf